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ICP三种气体的作用

ICP气体的作用ICP(Inductively Coupled Plasma)是一种常用的离子源技术,常用于质谱仪、光谱仪和等离子体刻蚀等应用领域。在ICP中,气体是一个重要的组成部分,不同的气体可以产生不同的作用...

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